CapaciTorr® — это фланцевые насосы, использующие пористые спеченные геттерные диски NEG.
Для работы в условиях сверхвысокого (UHV) и крайне высокого (XHV) вакуума (10-9 торр и ниже) поставляются две основные серии CapaciTorr:
Кроме того, сплав ZAO® NEG отличается лучшей скоростью откачки, чем St 172 NEG при активации на низких температурах.
|
Product Description H2 |
Pumping Speed (l/s) |
Sorption Capacity (Torr l) |
||||||
|
H2 |
H2O |
N2 |
CO |
H2 |
H2O |
N2 |
CO |
|
|
CapaciTorr D 50 |
55 |
45 |
22 |
30 |
78 |
3.4 |
0.04 |
0.15 |
|
CapaciTorr D 100 |
100 |
85 |
40 |
60 |
135 |
5 |
0.1 |
0.25 |
|
CapaciTorr D 200 |
200 |
180 |
60 |
125 |
280 |
10 |
0.25 |
0.6 |
|
CapaciTorr D 400 |
400 |
290 |
95 |
180 |
450 |
16 |
0.5 |
1 |
|
CapaciTorr D 1000 |
1000 |
900 |
330 |
600 |
1360 |
60 |
1.5 |
4 |
|
CapaciTorr D 2000 |
2000 |
1600 |
420 |
1000 |
2250 |
84 |
2 |
5 |
|
CapaciTorr D 3500 |
3500 |
2600 |
900 |
1600 |
3950 |
>200 |
4.1 |
12 |
|
CapaciTorr Z 100 |
150 |
100 |
40 |
65 |
600 |
5 |
0.15 |
0.35 |
|
CapaciTorr Z 200 |
290 |
195 |
75 |
130 |
1160 |
10 |
0.3 |
0.65 |
|
CapaciTorr Z 400 |
500 |
320 |
125 |
210 |
1920 |
16 |
0.6 |
1.2 |
|
CapaciTorr Z 1000 |
1250 |
900 |
360 |
550 |
5600 |
70 |
1.7 |
3.5 |
|
CapaciTorr Z 2000 |
2600 |
1750 |
700 |
1050 |
9600 |
150 |
2.4 |
4.8 |
|
CapaciTorr Z 3500 |
3900 |
2100 |
900 |
1400 |
14100 |
>200 |
5.1 |
10 |
Приведены расчетные значения для H2O.
Данные о скорости откачки относятся к исходным значениям в конфигурации «nude».
Значения емкости указаны при скорости 5% от исходного значения в конфигурации «nude».
Позволяет выполнить более 100 циклов сорбции.