NEXTorr HV


Насосы NEXTorr® HV — это компактные высоковакуумные насосы (HV), которые эффективно объединяют функции ионного насоса (SIP) и нераспыляемого геттерного насоса (NEG), характеризуются высокой скоростью откачки и большой сорбционной ёмкостью, сохраняя при этом малый вес и минимальные габариты. В высоковакуумных насосах NEXTorr HV используется сплав ZAO® (Zr-V-Ti-Al), обладающий большой производительностью для всех активных газов.

 

Насосы NEXTorr® HV специально спроектированы для работы в условиях высокого вакуума (т. е. 10-7 – 10-9 торр) и находят применение во всем оборудовании с эластомерным уплотнением, чувствительным к проникновению воздуха, и без возможности отжига системы целиком, где вода значительно увеличивает остаточный газовый фон. Оптимальная работа NEXTorr HV достигается при нагреве элементов насосов до примерно 200°C.

 

Все насосы NEXTorr оснащены ионным насосом noble diode, оптимизированным для работы в комбинации с геттерным элементом NEG. Ионный насос noble diode может эффективно работать при значительных потоках аргона, характерных для высоковакуумных систем с эластомерным уплотнением.


Product Description

Pumping Speed (l/s)

Sorption Capacity (Torr l)

H2

H2O

O2

CO2

N2

H2

H2O

O2

CO2

N2

NEXTorr HV 100

80

70

55

40

25

910

86

43

10

43

NEXTorr HV 200

155

130

110

90

50

1680

150

75

18

75

NEXTorr HV 300

300

280

260

190

130

4000

380

190

45

190

NEXTorr HV 1200

1150

1000

900

520

340

13600

1320

660

160

660

 

 


Примечания

Приведены расчетные значения для H2O.

Данные о скорости откачки относятся к исходным значениям, при этом геттерный элемент NEG полностью погружен в вакуумную камеру (конфигурация «nude»).

Значения емкости геттера (за исключением H2) указаны как рекомендуемый поглощаемый объем за цикл при температуре около 200°C, позволяющий выполнить более 20 циклов сорбции. В случае работы при меньших газовых нагрузках или при комнатной температуре, насос может быть повторно включен 100 раз или более.

Можно предположить, что значения для CO схожи со значениями, указанными для CO2.

Общие характеристики

  • Компактный размер, небольшой вес.
  • Высокая и постоянная скорость откачки для всех активных газов.
  • Скорость откачки инертных газов и метана.
  • Высокая сорбционная способность в условиях высокого вакуума.
  • Быстрая откачка после напуска атмосферы, без возможности отжига системы целиком.
  • Подходит для витоновых уплотнений и «грязных» систем.
  • Минимальное энергопотребление во время работы.
  • Уменьшенные магнитные помехи.
  • Возможность отображения давления в системе.

Документы

NEXTorr® HV 100
959.55 КБ
NEXTorr® HV 200
962.94 КБ
NEXTorr® HV pumps
805.62 КБ
SIP Power
627.3 КБ
Этот сайт использует cookie для хранения данных. Продолжая использовать сайт, Вы даете на это свое согласие.
Понятно