Насосы NEXTorr® HV — это компактные высоковакуумные насосы (HV), которые эффективно объединяют функции ионного насоса (SIP) и нераспыляемого геттерного насоса (NEG), характеризуются высокой скоростью откачки и большой сорбционной ёмкостью, сохраняя при этом малый вес и минимальные габариты. В высоковакуумных насосах NEXTorr HV используется сплав ZAO® (Zr-V-Ti-Al), обладающий большой производительностью для всех активных газов.
Насосы NEXTorr® HV специально спроектированы для работы в условиях высокого вакуума (т. е. 10-7 – 10-9 торр) и находят применение во всем оборудовании с эластомерным уплотнением, чувствительным к проникновению воздуха, и без возможности отжига системы целиком, где вода значительно увеличивает остаточный газовый фон. Оптимальная работа NEXTorr HV достигается при нагреве элементов насосов до примерно 200°C.
Все насосы NEXTorr оснащены ионным насосом noble diode, оптимизированным для работы в комбинации с геттерным элементом NEG. Ионный насос noble diode может эффективно работать при значительных потоках аргона, характерных для высоковакуумных систем с эластомерным уплотнением.
Product Description |
Pumping Speed (l/s) |
Sorption Capacity (Torr l) |
||||||||
H2 |
H2O |
O2 |
CO2 |
N2 |
H2 |
H2O |
O2 |
CO2 |
N2 |
|
NEXTorr HV 100 |
80 |
70 |
55 |
40 |
25 |
910 |
86 |
43 |
10 |
43 |
NEXTorr HV 200 |
155 |
130 |
110 |
90 |
50 |
1680 |
150 |
75 |
18 |
75 |
NEXTorr HV 300 |
300 |
280 |
260 |
190 |
130 |
4000 |
380 |
190 |
45 |
190 |
NEXTorr HV 1200 |
1150 |
1000 |
900 |
520 |
340 |
13600 |
1320 |
660 |
160 |
660 |
Приведены расчетные значения для H2O.
Данные о скорости откачки относятся к исходным значениям, при этом геттерный элемент NEG полностью погружен в вакуумную камеру (конфигурация «nude»).
Значения емкости геттера (за исключением H2) указаны как рекомендуемый поглощаемый объем за цикл при температуре около 200°C, позволяющий выполнить более 20 циклов сорбции. В случае работы при меньших газовых нагрузках или при комнатной температуре, насос может быть повторно включен 100 раз или более.
Можно предположить, что значения для CO схожи со значениями, указанными для CO2.