Насосы NEXTorr® UHV — это компактные сверхвысоковакуумные насосы, которые эффективно объединяют функции ионного насоса (SIP) и нераспыляемого геттерного насоса (NEG), характеризуются высокой скоростью откачки и большой сорбционной ёмкостью, сохраняя при этом малый вес и минимальные габариты.
В настоящее время доступны две версии:
Обе серии NEXTorr «D» и «Z» используют один и тот же насос ионного распыления: фланцевые модели CF35 и CF63 оснащенные диодным насосом или насосом noble diode производительностью 6 л/с (Ar) и 15 л/с (CH4); фланцевые модели CF100 оснащены насосом noble diode производительностью 10 л/с (Ar), 32 л/с (CH4).
Для сфер применения, требующих более высокой производительности для инертных газов, насосы NEXTorr D500-StarCell и NEXTorr D1000–StarCell являются идеальным решением. Они объединяют два высокоскоростных геттерных диска NEG (500 и 1000 л/с для H2, соответственно) с ионным насосом StarCell с производительностью 21 л/с (Ar) и 30 л/с (CH4), соответственно.
|
Product Description
|
Pumping Speed (l/s) |
Single-run Capacity (Torr l) |
||||||
|
H2 |
H2O |
CO |
N2 |
H2 |
H2O |
CO |
N2 |
|
|
NEXTorr D 100-5 |
100 |
90 |
70 |
40 |
135 |
10 |
0.7 |
0.4 |
|
NEXTorr D 200-5 |
200 |
180 |
140 |
80 |
280 |
18 |
1.3 |
0.6 |
|
NEXTorr D 300-5 |
300 |
270 |
200 |
100 |
410 |
45 |
2.2 |
1.3 |
|
NEXTorr D 500-5 |
500 |
450 |
340 |
200 |
680 |
70 |
3 |
1.7 |
|
NEXTorr D 500-StarCell |
500 |
450 |
340 |
200 |
680 |
70 |
2.5 |
1.3 |
|
NEXTorr D 1000-10 |
1000 |
850 |
580 |
320 |
1125 |
440 |
7 |
4 |
|
NEXTorr D 1000-StarCell |
1000 |
850 |
580 |
320 |
1125 |
500 |
6 |
2.5 |
|
NEXTorr D 2000-10 |
2000 |
1700 |
1100 |
640 |
2250 |
800 |
13 |
7 |
|
NEXTorr Z 100 |
150 |
100 |
75 |
40 |
600 |
9 |
0.6 |
0.35 |
|
NEXTorr Z 200 |
290 |
180 |
140 |
80 |
1160 |
16 |
1.5 |
0.7 |
|
NEXTorr Z 300 |
400 |
280 |
200 |
120 |
1920 |
40 |
2 |
1.2 |
|
NEXTorr Z 500 |
580 |
440 |
300 |
180 |
2880 |
60 |
2.5 |
1.5 |
|
NEXTorr Z 1000 |
1150 |
850 |
500 |
320 |
4380 |
400 |
7 |
4 |
|
NEXTorr Z 2000 |
2200 |
1600 |
920 |
640 |
6840 |
700 |
11 |
6 |
Компактный, малый вес.
Высокая и постоянная скорость перекачки для всех активных газов в условиях сверхвысокого (UHV) и крайне высокого (XHV) вакуума.
Скорость для перекачки инертных газов и метана.
Длительный срок службы в условиях сверхвысокого (UHV) и крайне высокого (XHV) вакуума.
Незначительное энергопотребление при работе.
Уменьшение магнитных помех.
Возможность отображения давления в системе.
Не требует обслуживания.
Улучшение предельного вакуума в комбинации с ионными, диффузионными, криогенными или турбомолекулярными насосами.
Ускорители частиц, источники синхротронного излучения.
Системы атомных / ионных ловушек, атомные часы / фонтаны, интерферометры.
Сканирующая/просвечивающая электронная микроскопия.
Портативные вакуумные системы.
Системы анализа поверхности.
Системы сверхвысокого вакуума общего назначения.