Высоковакуумные модули HV Wafer Module представляет собой бесфланцевое высокопроизводительное решение для геттерного насоса (NEG), подходящее для задач, требующих распределения больших скоростей откачки и производительности для H2 и всех активных газов (H2O, O2, N2, CO, CO2) внутри вакуумных камер.
Геттерные диски NEG изготовлены из улучшенной версии сплава ZAO® NEG. Благодаря гибкости технологии ZAO®, преимущества геттерной откачки могут быть применимы и в условиях высокого вакуума (1*10-9 торр до 1*10-7 торр).
Несколько модулей HV Wafer Module можно запитать одновременно с помощью последовательных и/или параллельных соединений.