CapaciTorr HV

Насосы CapaciTorr® HV используют высоковакуумный геттерный сплав ZAO®, специально разработанный для поглощения больших объемов газа при уровнях давления до 10^-7 торр. Преимущества CapaciTorr HV:

максимальная емкость для всех активных газов
возможность работы в условиях низкого вакуума (т.е. 1e^-2 торр)

Чтобы использовать преимущества CapaciTorr HV, нагревательный элемент насосов работает при температуре около 200°C с минимальным энергопотреблением. Все доступные модели оснащены легко заменяемым геттерным картриджем NEG.

Product Description H2	Pumping Speed (l/s)					Sorption Capacity (Torr l)
Product Description H2	H2	H2O	O2	N2	CO2*	H2	H2O	O2	N2	CO2*
CapaciTorr HV 200 (CF35)	105	40	32	30	25	2800	400	200	200	40
CapaciTorr HV 200 (CF63)	210	120	90	60	65	2800	400	200	200	40
CapaciTorr HV 1600	1700	1000	800	470	620	13800	1600	800	800	160
CapaciTorr HV 2100	2100	1500	1250	625	880	22600	2600	1300	1300	260

Примечания

Данные по скорости откачки относятся к исходным значениям, измеренным на входном канале насоса.

Значения емкости геттера (за исключением H₂) указаны как рекомендуемый поглощаемый объем за цикл при температуре около 200°C, позволяющий выполнить более 20 циклов сорбции. В случае работы при меньших газовых нагрузках или при комнатной температуре, насос может быть повторно включен 100 раз или более.

Приведены расчетные значения для H₂O.

(*) Можно предположить, что значения для CO схожи со значениями, указанными для CO₂.

Общие характеристики

Компактный размер, небольшой вес.
Высокая и постоянная скорость откачки для всех активных газов.
Скорость откачки инертных газов и метана.
Высокая сорбционная способность в условиях высокого вакуума.
Постоянная скорость откачки в условиях сверхвысокого (UHV) и крайне высокого (XHV) вакуума.
Без масла, без вибрации.
Возможна эксплуатация в условиях сильных магнитных полей.
Реверсивная откачка водорода и его изотопов.
Быстрая откачка после напуска воздуха, без отжига.
Способность справляться с большим натеканием воздуха.
Подходит для систем с витоновым уплотнением.

Применение

Улучшение предельного вакуума в комбинации с ионными, диффузионными, криогенными или турбомолекулярными насосами.
Ускорители частиц, источники синхротронного излучения.
Сканирующая/просвечивающая электронная микроскопия.
Портативные вакуумные системы.
Системы анализа поверхности.
Технологические насосы для вакуумных устройств и камер осаждения.
Системы для нанесения тонких пленок.
Откачка, хранение и высвобождение изотопов водорода.
Удаление примесей в устройствах, заполненных инертными газами.

Документы

CapaciTorr® HV Pumps

1.51 МБ

CapaciTorr® HV 200

1.68 МБ

CapaciTorr® HV 600

1.22 МБ

CapaciTorr® HV 1600

1.4 МБ

CapaciTorr® HV 2100

1.67 МБ

NEG Power Multi-controller Mini

600.46 КБ

CapaciTorr® HV 100

972.99 КБ